露点测量采样管不同材质的比较研究

张 琳 （ 连云港太瓦新能源有限公司 ）

吴龙海 （ 连云港太瓦新能源有限公司 ）

吴志强 （ 连云港太瓦新能源有限公司 ）

熊玉林 （ 连云港太瓦新能源有限公司 ）

Abstract

准确测量气体的露点对于工业过程控制和产品质量保证至关重要。管材的选择在露点测量系统中扮演着 重要角色，其中聚氨酯（PU）管被广泛使用，但半导体厂务实践中发现测量不准现象。本研究从微观角度分析了PU 管、尼龙管、特氟龙管对露点测量准确性的影响。通过考察三种材料的微观结构、表面特性以及它们与水蒸气分子间 的相互作用，揭示了不同材质管材在露点测量中的作用机制。实验结果表明，PU管和尼龙管在微观层面的差异导致了 不同的露点测量响应，这些差异归因于材料表面的微观粗糙度、化学官能团以及吸附－脱附行为的不同。本研究为精 确露点测量提供了材料选择的科学依据。[1]

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