半导体自动物料搬送系统的路径优化与调度算法研究

王瑞骥 ( 华芯(嘉兴)智能装备有限公司 )

https://doi.org/10.37155/2717-5170-0607-46

Abstract

在现代半导体制造中,自动物料搬送系统(AMHS)扮演着至关重要的角色。本文聚焦于路径优化与调 度算法的设计和应用,旨在提升生产效率和降低运营成本。通过分析一项具体案例,探讨了先进算法在实际应用中的 效果和挑战。研究表明,优化算法能够显著减少搬运时间,提高设备利用率,并有效降低能源消耗,最终实现成本的 全面控制。本研究的结果为半导体制造企业提供了实用的参考和指导,有助于推动智能制造的发展。

Keywords

路径优化;调度算法;半导体制造;自动物料搬送系统;生产效率

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References

[1]陈建平.半导体晶圆制造自动物料运输系统实时调
度方法研究[D].上海大学,2017.
[2]周琪,周炳海.整体式半导体自动物料搬运系统解
死锁算法[J].东北大学学报(自然科学版),2014,35(08):
1183-1189.
[3]严峻.自动物料搬送系统(AMHS)在晶圆制造中
的应用及效率改善[D].复旦大学,2013.
[4]沈正花,陆志强.基于仿真的半导体自动物料搬运系
统调度优化[J].工业工程与管理,2011,16(01):85-90.

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