关于半导体洁净厂房工艺废气治理的研究
杨 超 （ 中国电子系统工程第二建设有限公司 ）
陈荣华 （ 中国电子系统工程第二建设有限公司 ）
齐文杰 （ 中国电子系统工程第二建设有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5588-0406-7Abstract
半导体制程工序产生的各类废气，会危害人体健康、恶化大气环境并影响企业的日常工艺生产。本文从 8英寸功率器件工艺废气的产生危害、图纸的设计、现场实施优化和洗涤塔和沸石转轮 RTO焚烧设备运行原理等内容 进行分析总结。
Keywords
功率器件；工艺废气；洗涤塔；沸石转轮+RTO焚烧系统Full Text
PDFReferences
[1]GB 51401-2019,电子工业废气处理工程设计标准
[S].北京:中国计划出版社,2019.
[2]GB 50472-2008,电子工业洁净厂房设计规范[S].北
京:中国计划出版社,2008.
[3]GB 50019-2015,工业建筑供暖通风与空气调节设计
规范[S].北京:中国计划出版社,2015.
[4]GB 50646-2020,特种气体系统工程技术标准[S].北
京:中国计划出版社,2020.
[5]GB 16297-1996,大气污染物综合排放标准[S].北京:
中国环境科学出版社,1996.
[6]HJ/T 397-2007,固定源废气监测技术规范[S].北京:
中国环境科学出版社,2008
[S].北京:中国计划出版社,2019.
[2]GB 50472-2008,电子工业洁净厂房设计规范[S].北
京:中国计划出版社,2008.
[3]GB 50019-2015,工业建筑供暖通风与空气调节设计
规范[S].北京:中国计划出版社,2015.
[4]GB 50646-2020,特种气体系统工程技术标准[S].北
京:中国计划出版社,2020.
[5]GB 16297-1996,大气污染物综合排放标准[S].北京:
中国环境科学出版社,1996.
[6]HJ/T 397-2007,固定源废气监测技术规范[S].北京:
中国环境科学出版社,2008
Copyright © 2023 杨 超,陈荣华,齐文杰
Publishing time:2023-06-07
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License
Email
Location