拉曼光谱在线检测三氟化硼气体中的其他气体含量
冯文凤 （ 多氟多新材料股份有限公司 ）
杜晓娟 （ 多氟多新材料股份有限公司 ）
张文丽 （ 多氟多新材料股份有限公司 ）
王 欣 （ 多氟多新材料股份有限公司 ）
刘晓晓 （ 多氟多新材料股份有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5316-0712-58Abstract
三氟化硼是半导体掺杂、有机合成等领域的重要电子特气，其纯度直接影响工艺稳定性和产品质量。本 文针对三氟化硼气体中微量杂质气体（氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳、四氟化硅等）的在线检测需求，研究基于 拉曼光谱的分析方法。通过搭建气体拉曼光谱检测系统，优化光谱采集参数，建立特征峰强度与气体浓度的定量校准 模型。实验结果表明，该方法可实现多种杂质气体的同步检测，检测限可达体积分数10-6量级，为三氟化硼气体质量 控制提供了一种快速、无损的在线检测手段。
Keywords
拉曼光谱；三氟化硼；在线检测；气体分析；微量杂质Full Text
PDFReferences
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Copyright © 2026 冯文凤,杜晓娟,张文丽,王 欣,刘晓晓
Publishing time:2026-06-30
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