自动化超纯阀门执行机构设计与动态性能分析
宿 翔 （ 大连华邦化学有限公司 ）
王 蕾 （ 大连福华机械有限公司 ）
孙 科 （ 大连华邦化学有限公司 ）
郭喜顺 （ 大连华邦化学有限公司 ）
关元昊 （ 大连华邦化学有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5316-0712-66Abstract
自动化超纯阀门是高端制造业流体控制系统的核心装备，执行机构的动态品质直接决定阀门的服役性 能。本文面向超纯工况对执行机构快速性与精确性的双重约束，提出一种气电协同驱动的新型执行机构方案。围绕结 构拓扑、控制架构与动态特性展开系统研究，构建了从设计到验证的完整技术链条。测试结果表明，该执行机构全行 程响应时间控制在0.5秒以内，定位偏差不超过±0.08毫米，能够很好满足超纯介质输送场景下的自动化控制需求。
Keywords
超纯阀门；执行机构；协同驱动；动态特性；定位精度Full Text
PDFReferences
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Copyright © 2026 宿 翔,王 蕾,孙 科,郭喜顺,关元昊
Publishing time:2026-06-30
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