面向先进制程的芯片厂房微振动控制技术与工程应用
王少红 （ 长鑫集电（北京）存储技术有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2811-0609-0509-24Abstract
先进制程芯片生产对厂房微振动控制要求严苛。本文先阐述微振动控制技术理论基础，包括特性传播、 标准体系等；接着介绍关键控制技术，如结构、管道系统隔振及主动隔振技术；通过实际工程应用案例，展示防微振 设计与振动治理成效；最后分析现存技术瓶颈，如复杂振源预测精度不足等，并展望智能化控制、材料创新等前沿发 展方向。
Keywords
面向先进制程；芯片厂房；微振动控制技术；工程应用Full Text
PDFReferences
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Copyright © 2026 王少红
Publishing time:2026-05-01
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