某项目工艺排气系统设计总结

孙允祥

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某项目工艺排气系统设计总结

孙允祥（中电系统建设工程有限公司）

https://doi.org/10.37155/2717-5189-0612-56

Abstract

本文结合某半导体项目工艺排气设计，介绍了半导体项目工艺排气分类及处理方式，分析了系统设计注意事项及经验教训。

Keywords

半导体厂房；酸碱排气；有机排气；洗涤塔；沸石转轮；TO炉

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Publishing time:2024-06-30
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