半导体工业厂房气化供应间空调通风设计及施工要点

王　侃 （ 中电系统建设工程有限公司 ）

https://doi.org/10.37155/2717-5189-0613-4

Abstract

随着半导体工业的迅速发展，半导体工艺所需的气体和化学品种类也十分繁杂，从而对气化供应间的空 调通风设计的适用性及安全性有着更高的要求。本文将结合实际半导体工业厂房项目，探讨半导体工业厂房气化供应 间空调通风设计及施工的一些要点，以保证安全、耐用和稳定的生产环境。

Keywords

半导体；气化供应；通风空调系统；爆炸危险；安全性

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Copyright © 2024 王　侃 Publishing time:2024-07-01
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