半导体洁净空调系统的设计

孙允祥 （ 中电系统建设工程有限公司 ）

https://doi.org/10.37155/2717-5189-0616-3

Abstract

本文描述大型半导体厂房洁净空调系统的系统形式，介绍各子系统设计方法及注意要点，各系统设备功能组成。

Keywords

半导体厂房；洁净室；洁净度；洁净空调箱；干盘管；水洗加湿；FFU

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Copyright © 2024 孙允祥 Publishing time:2024-08-31
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