超纯水系统在电子厂环境工程中的应用
井 娜 （ 安靠封装测试（上海）有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5189-0706-12Abstract
本文聚焦于超纯水系统在电子厂环境工程中的核心应用，探讨其在减小水污染、提升水资源利用效率及 保障电子产品生产质量方面的关键作用。通过深入分析超纯水系统在清洗工艺、化学蚀刻、光刻胶去除、化学机械抛 光及电镀液配制等关键环节的应用，揭示其对电子行业绿色生产、节能减排及提升产品竞争力的积极影响。研究还展 望超纯水系统未来的发展趋势，强调技术创新与智能化管理在推动其持续进步中的重要性。
Keywords
超纯水系统；电子厂环境；应用Full Text
PDFReferences
[1]李明.电子数据交换技术在超纯水制备中的应用研
究[J].水处理技术，2020，46(8)：45-50.
[2]王亚楠，张强.混床技术在高纯水制备中的优化与
应用[J].化工科技，2019，42(5)：30-35.
[3]陈彦宏.小水量超纯水制备系统的最佳工艺选择[J].
节能与环保,2022(3):71-73.
[4]张楚炎.刘敏.Direct-Q超纯水仪典型故障维修1例
[J].北京生物医学工程,2021,40(6):653.
[5]闵为.李成.基于应力均匀化的超纯水隔膜阀隔膜优
化[J].液压与气动,2021,45(12):129-133.
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[5]闵为.李成.基于应力均匀化的超纯水隔膜阀隔膜优
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Copyright © 2025 井 娜
Publishing time:2025-03-31
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