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CFD技术在高级别电子半导体洁净室的应用

杨 军 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

刘 林 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

陈 展 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

王层层 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

季亚振 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

https://doi.org/10.37155/2717-5189-0409-26

Abstract

本文通过对青岛某大型高级别半导体洁净室的气流组织情况进行CFD模拟，探索CFD模拟技术在大型工 业厂房应用的可能性，分析了其洁净室气流组织对精密工艺生产的影响，同时总结了模拟过程中遇到的问题及解决方 法，可为其他工业厂房洁净室的气流组织模拟提供可借鉴的宝贵经验。

Keywords

高等级半导体厂房;洁净室;气流组织; CFD

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References

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Copyright © 2022 杨 军,刘 林,陈 展,王层层,季亚振 Creative Commons License Publishing time:2022-09-01
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