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半导体洁净空调系统的设计

孙允祥 （ 中电系统建设工程有限公司 ）

https://doi.org/10.37155/2717-5189-0616-3

简介

本文描述大型半导体厂房洁净空调系统的系统形式，介绍各子系统设计方法及注意要点，各系统设备功能组成。

关键字

半导体厂房；洁净室；洁净度；洁净空调箱；干盘管；水洗加湿；FFU

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参考文献

[1]刘沥,《科技风》,2019年26期P5~P6.
[2]胡翘楚,《工业技术》,2016年12期,P33~P34

版权所有 © 2024 孙允祥 Creative Commons License 出版时间:2024-08-31
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