主页 > 最新一期

CFD技术在高级别电子半导体洁净室的应用

杨 军 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

刘 林 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

陈 展 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

王层层 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

季亚振 （ 中建三局第一建设工程有限责任公司 ）

https://doi.org/10.37155/2717-5189-0409-26

简介

本文通过对青岛某大型高级别半导体洁净室的气流组织情况进行CFD模拟，探索CFD模拟技术在大型工 业厂房应用的可能性，分析了其洁净室气流组织对精密工艺生产的影响，同时总结了模拟过程中遇到的问题及解决方 法，可为其他工业厂房洁净室的气流组织模拟提供可借鉴的宝贵经验。

关键字

高等级半导体厂房;洁净室;气流组织; CFD

全文

PDF

参考文献

[1]黄闻华,魏琪,卢启明.CFD技术在洁净室气流组织设
计中的应用[J].洁净与空调技术， 2006,(2):7.
[2]中华人民共和国国家质量监督检验总局.中华人民
共和国建设部.洁净厂房设计规范,GB50073-2001.
[3]魏学孟. 矢流洁净室数值模拟与实验研究.暖通空
调,1997(2)

版权所有 © 2022 杨 军,刘 林,陈 展,王层层,季亚振 Creative Commons License 出版时间:2022-09-01
本作品采用以下许可协议授权： 知识共享 署名 4.0 国际许可协议