MEMS压力传感器原理与应用
张林伟 （ 宁波中车时代传感技术有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5197-0411-28Abstract
随着经济的快速发展以及科学的进步，传感技术在各个领域上都有涉及，其中MEMS传感器与智能传感 器作为传感方面的先进技术之一，近年来，结合了很多创新成果，尤其是仿生机器人、微型飞行器的问世，为人类的 健康以及科技创新，提供了有效的信息支持，并受到了人们的广泛关注，国内外均有关于相关技术研究，应用于很多 人们的生活领域中，为人们的生活带来的便捷，所以，未来发展趋势以及发展方向，更加新颖化、便捷化、精简化。
Keywords
MEMS；压力传感器；原理应用Full Text
PDFReferences
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微纳电子技术， 2019（ 2） 85-94
[2]韩允.MEMS传感器的发展概况[J].电子产品世界，
2019（ 1）： 4-8.
[3]霍大云，赵介军，过峰.基于物联网智能家居对
MEMS传感器可靠性技术现状及发展方向的探究[J].物联
网技术， 2018（ 3）： 37-39.
[4]汪超,段红军,李开明,等.基于自主芯片的车用
M EM S压力传感器[ Z] .上海文襄汽车传感器有限公
司.2020.
[5]滕飞,孙海鑫,顾常飞,等.面向物联网应用的MEMS
技术压力传感器[Z].江苏奥力威传感高科股份有限公
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司.2018.
Copyright © 2023 张林伟
Publishing time:2022-11-30
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