半导体专用设备中机械结构的方案设计及发展前景分析
施路平 （ 杭州思元智能科技有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5197-0620-57Abstract
机械结构设计在半导体设备中扮演着核心角色，其精度、稳定性和可靠性直接影响设备性能与生产效 率。文章从系统化设计与模块化设计的角度分析机械结构的具体方案，并探讨其重要性及对设备性能的影响。同 时，展望技术趋势、创新设计以及可持续发展对机械结构设计的影响，为半导体专用设备的发展提供了理论参考和 实践指导。
Keywords
半导体；机械结构；方案设计；发展前景Full Text
PDFReferences
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Copyright © 2024 施路平
Publishing time:2024-10-31
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