基于MEMS技术的微型机电控制装置设计与制造

朱华刚 （ 中国船舶重工集团有限公司第七一〇研究所 ）

张 斐 （ 中国船舶重工集团有限公司第七一〇研究所 ）

Abstract

微电子机械系统(MEMS)技术是近年来快速发展的产品制造工艺，它移植微电子工艺技术到无人机领域， 制造出个头小、重量轻、动作速度快，且低功耗的微型机电控制装置。本研究主要集中在MEMS技术在微型机电控制装 置的设计和制造过程中的应用。首先,我们通过研究MEMS技术的基本原理和工艺流程，对微型机电控制装置设计过程中 的关键技术进行深入理解；后续,我们基于MEMS技术,设计并制造了一种微型机电控制装置，该装置实现了高精度位置 控制和微小力量输出。对装置的验证测试表明，它可以在广泛的温度和湿度环境下稳定工作，并且具有较高的灵敏度和 稳定性。从而证明，利用MEMS技术制造的微型机电控制装置具有优秀的性能和广泛的应用前景。这项研究不仅丰富了 MEMS领域的研究成果，还为诸如生物医学、无人机制造等领域的微型机电控制装置设计与制造提供了新的参考依据。

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