超纯阀门无泄漏密封系统设计与密封性能研究
宿 翔 （ 大连华邦化学有限公司 ）
王 蕾 （ 大连福华机械有限公司 ）
孙 科 （ 大连华邦化学有限公司 ）
郭喜顺 （ 大连华邦化学有限公司 ）
关元昊 （ 大连华邦化学有限公司 ）
https://doi.org/10.37155/2717-5197-0812-66Abstract
超纯阀门在半导体、生物制药、高纯化工等领域具有关键作用，其密封性能直接影响介质纯度和系统安 全。本文针对超纯阀门密封系统的特殊要求，分析传统密封结构存在的问题，提出基于金属波纹管与高性能聚合物 密封件组合的无泄漏密封系统设计方案。通过密封结构优化、材料选型分析、密封机理研究，建立了密封性能评价体 系。实验结果表明，所设计密封系统的泄漏率低于1×10⁻⁹Pa·m³/s，使用寿命超过10万次循环，满足超纯介质工况下 的无泄漏要求，为超纯阀门设计提供技术参考。
Keywords
超纯阀门；无泄漏密封；金属波纹管；密封性能；可靠性Full Text
PDFReferences
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Copyright © 2026 宿 翔,王 蕾,孙 科,郭喜顺,关元昊
Publishing time:2026-06-30
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