洁净室系统自控调试经验总结

霍　凯 （ 中国电子系统工程第二建设有限公司 ）

https://doi.org/10.37155/2811-0609-0304-76

简介

半导体芯片制造业作为电子工业的核心，在我国经济现代化中发挥着至关重要的支撑作用。芯片的性能 优劣取决于工艺技术和设计的严谨性、合理性和先进性，而其可靠性和成品率则受制于生产环境的洁净程度和原料纯 度。随着纳米加工技术的不断推进和广泛应用，超净环境和超纯材料已成为半导体工业持续进步和创新的重要保障。 通过对半导体厂房的洁净室系统的自控调试进行分析和经验总结，能够为以后的洁净室系统设计提供宝贵经验。

关键字

洁净室（Clean Room）；空调新风机组（MAU）；干冷盘管（DCC）；风机过滤单元（FFU）；半导体；调试

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参考文献

版权所有 © 2024 霍　凯 出版时间:2024-04-30
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