霍尔速度传感器IC的设计与工艺实现

邹治弢 （ 华东光电集成器件研究所 ）

https://doi.org/10.37155/2717-5197-0408-68

简介

汽车行业的变速箱装输出齿轮多数采用霍尔元件，本文讨论的IC应用情形主要针对AEC-Q100标准下为 实现IC制造的工艺难点和技术手段以及一部分工艺参数的探索。最后通过软件和硬件的分析，当前技术框架下霍尔IC 设计水准和制造工艺能够满足汽车行业使用要求。

关键字

齿轮传感器； Bi-CMOS；霍尔敏感元件

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参考文献

版权所有 © 2022 邹治弢 出版时间:2022-08-31
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